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PI-P-712線性壓電陶瓷掃描儀 ?高動(dòng)態(tài)，達(dá)5毫秒的穩(wěn)定時(shí)間 ?行程達(dá)40微米 分辨率達(dá)0.2納米 低外形的緊湊型設(shè)計(jì)，40 毫米 × 40 毫米 × 6 毫米 通光孔徑25 毫米 × 15 毫米 PICMA大功率促動(dòng)器

PI（Physik Instrumente）P-734 XY壓電掃描儀 通光孔徑56毫米 × 56毫米 電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)小于0.4納米的分辨率 PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命

PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀-北京漢達(dá)森 自動(dòng)配置和快速部件更換 機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

*PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀 并聯(lián)測量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動(dòng)化 補(bǔ)償 分辨率50皮米 行程5微米×5微米×5微米 真空兼容版本

德國PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀 X、Y向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動(dòng)） 5 - 納米 機(jī)械特性 X、Y向上的空載諧振頻率 3.1 4.2 千赫茲 Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲